基础信息

标准号：GB/T 30655-2014发布日期：2014-12-31实施日期：2015-09-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040.99 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院半导体研究所

起草人

魏学成赵丽霞李晋闽王军喜曾一平

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