基础信息

标准号：GB/T 30859-2014发布日期：2014-07-24实施日期：2015-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司有研半导体材料股份有限公司瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

起草人

薛抗美夏根平徐自亮黄黎孙燕林清香

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