基础信息

标准号：GB/T 30856-2014发布日期：2014-07-24实施日期：2015-04-01标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院半导体研究所云南中科鑫圆晶体材料有限公司有研光电新材料有限公司

起草人

赵有文提刘旺惠峰赵坚强林泉于洪国

相近标准(计划)

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