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砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

基础信息

标准号:GB/T 8758-2006发布日期:2006-07-18实施日期:2006-11-01全部代替标准:GB/T 8758-1988,GB/T 8758-1989标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040.01 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会副归口单位:全国有色金属标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

王彤涵

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