基础信息

标准号：GB/T 13388-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01全部代替标准：GB/T 13388-1992标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF847-0705。采标中文名称:硅片参考面晶向X射线测试方法。

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

起草人

孙燕卢立延高玉锈杜娟翟富义

相近标准(计划)

SN/T 3514-2013 电工钢晶粒取向与无取向鉴定方法 X射线衍射测定织构法WS/T 851-2025 X射线计算机体层成像儿童诊断参考水平标准SJ/T 11631-2016 太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法SJ/T 11630-2016 太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法YB/T 6162-2024 取向电工钢涂层对基体的张应力测试方法SJ/T 11632-2016 太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法SJ/T 11627-2016 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法SJ/T 11628-2016 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法WS/T 637-2018 X射线计算机断层摄影成年人诊断参考水平