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硅片参考面结晶学取向X射线测量方法

基础信息

标准号:GB/T 13388-1992发布日期:1992-02-19实施日期:1992-10-01废止日期:2010-06-01标准类别:方法中国标准分类号:H21归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准:ASTM F847:1983。采标中文名称:。

起草单位

北京有色金属研究总院

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