基础信息

标准号：GB/T 14141-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01全部代替标准：GB/T 14141-1993标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

宁波立立电子股份有限公司信息产业部专用材料质量监督检验中心南京国盛电子有限公司

起草人

李慎重许峰马林宝何秀坤刘培东谌攀

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