基础信息

标准号：GB/T 22572-2008发布日期：2008-12-11实施日期：2009-10-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 20341:2003。采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

起草人

马农农何友琴何秀坤

相近标准(计划)

20233734-T-469 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法GB/T 32495-2016 表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法20232769-T-469 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱-由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子20232366-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 单离子计数飞行时间质谱分析器的强度标线性GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法GB/T 43663-2024 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性20233169-T-469 钢件表面淬火硬化层深度的测定