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硅片局部平整度非接触式标准测试方法

基础信息

标准号:GB/T 19922-2005发布日期:2005-09-19实施日期:2006-04-01标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040.01 归口单位:工业和信息化部(电子)执行单位:工业和信息化部(电子)主管部门:工业和信息化部(电子)

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

相近标准(计划)

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