基础信息

标准号：GB/T 32278-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2017-01-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

北京天科合达蓝光半导体有限公司中国科学院物理研究所

起草人

陈小龙郑红军张玮郭钰

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