基础信息

标准号：GB/T 35307-2017发布日期：2017-12-29实施日期：2018-07-01废止日期：2024-03-01标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

刘晓霞蒋立民贺东江李明峰宗冰程凤伶尹敏秦榕付治栋鲁文锋李咸江银波夏进京张雪囡

相近标准(计划)

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