基础信息

标准号：GB/T 19921-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-07-01全部代替标准：GB/T 19921-2005标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院上海合晶硅材料有限公司南京国盛电子有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人

孙燕刘卓张海英骆红张雪囡冯泉林徐新华刘义杨素心

相近标准(计划)

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