基础信息

标准号：GB/T 28654-2012发布日期：2012-09-03实施日期：2013-06-01废止日期：2019-01-01标准类别：产品中国标准分类号：G14国际标准分类号：71.060.99 归口单位：全国化学标准化技术委员会执行单位：全国化学标准化技术委员会主管部门：中国石油和化学工业联合会

起草单位

浙江新安化工集团股份有限公司泰安光明硅业有限公司成都化工股份有限公司等中海油天津化工研究设计院荆州市华翔化工有限公司

起草人

叶世胜杨裴张莹韩科范国强李长亭

相近标准(计划)

GB/T 28654-2018 工业三氯氢硅HG/T 4683-2014 三氯氢硅泄漏的处理处置方法GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅20240139-T-469 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法