基础信息

标准号：GB/T 14140.2-1993发布日期：1993-02-06实施日期：1993-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

洛阳单晶硅厂

相近标准(计划)

GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法20233945-T-610 硅片径向电阻率变化测量方法20231107-T-469 硅片氧沉淀特性的测试间隙氧含量减少法DB15/T 883-2015 平均纤维直径及纤维直径分布测定方法赛罗兰（sirolan)-激光扫描纤维直径分析仪法GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T 26826-2011 碳纳米管直径的测量方法GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法DB65/T 2615-2006 毛线纤维直径试验方法视觉纤维直径分析仪(OFDA)法ZBW 0017-1989 纱线直径测定方法CCD测定仪法20240161-T-609 纤维及微纤维棉直径及其分布的测定 光学扫描仪法