基础信息

标准号：GB/T 14140-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01全部代替标准：GB/T 14140.1-1993,GB/T 14140.2-1993标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

起草人

刘玉芹蒋建国张静雯冯校亮

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