基础信息

标准号：GB/T 11073-2007发布日期：2007-09-11实施日期：2008-02-01全部代替标准：GB/T 11073-1989标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会副归口单位：全国有色金属标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

峨嵋山半导体材料厂

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