基础信息

标准号：GB/T 11072-1989发布日期：1989-03-31实施日期：1990-02-01废止日期：2010-06-01标准类别：产品中国标准分类号：H81国际标准分类号：77.140.90 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

相近标准(计划)

GB/T 11072-2009 锑化铟多晶、单晶及切割片GB/T 11297.7-1989 锑化铟单晶电阻率及霍耳系数的测试方法GB/T 11297.6-1989 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片GB/T 11093-2007 液封直拉法砷化镓单晶及切割片GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片20241911-T-469 太阳能电池用硅单晶及硅单晶片20241934-T-469 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片