基础信息
标准号：GB/T 29508-2013发布日期：2013-05-09实施日期：2014-02-01标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人
闫志瑞孙燕张果虎向磊盛方毓卢立延
相近标准(计划)
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