基础信息

标准号：GB/T 11072-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01全部代替标准：GB/T 11072-1989标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

王炎何兰英张梅

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