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硅片径向电阻率变化的测量方法

基础信息

标准号:GB/T 11073-1989发布日期:1989-03-31实施日期:1990-02-01废止日期:2008-02-01标准类别:方法中国标准分类号:H21归口单位:中国有色金属工业协会执行单位:中国有色金属工业协会主管部门:中国有色金属工业协会

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

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