基础信息

标准号：GB/T 40577-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01标准类别：基础中国标准分类号：L95国际标准分类号：31.220 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子技术标准化研究院中电科电子装备集团有限公司中微半导体设备（上海）股份有限公司东莞市中镓半导体科技有限公司浙江晶盛机电股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司上海微电子装备（集团）股份有限公司江苏卓远半导体有限公司

起草人

张军华冯亚彬裴会川朱亮杜若昕唐彩红魏唯田涛王宏智曹可慰曹建伟周哲武小娟丁晓民傅林坚刘英斌李国平

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