基础信息

标准号：GB/T 32280-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2017-01-01废止日期：2022-10-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份有限公司杭州海纳半导体有限公司浙江省硅材料质量检验中心上海合晶硅材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司东莞市华源光电科技有限公司

起草人

孙燕何宇张海英楼春兰徐新华王飞尧向兴龙

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