基础信息
标准号:GB/T 31370.5-2018发布日期:2018-12-28实施日期:2019-04-01标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
京东方科技集团股份有限公司重庆京东方光电科技有限公司阜阳欣奕华科技有限公司合肥鑫晟光电科技有限公司中国电子技术标准化研究院
起草人
陈赛华张志刚李文波王香李新国袁园刘宸赵吉生
相近标准(计划)
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