基础信息

标准号：GB/T 36952-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2018-12-28标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子技术标准化研究院深圳市华星光电技术有限公司深圳市标准技术研究院

起草人

王香詹炜裴会川张理曾淑君张玮管琪曹可慰冯亚彬杨光

相近标准(计划)

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