基础信息

标准号：GB/T 31370.3-2015发布日期：2015-02-04实施日期：2015-10-01标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子技术标准化研究院

起草人

裴会川王香付雪涛冯亚彬管琪

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