基础信息

标准号：GB/T 32816-2016发布日期：2016-08-29实施日期：2017-03-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京大学大连理工大学中机生产力促进中心北京青鸟元芯微系统科技有限公司

起草人

张大成杨芳何军黄贤邹赫麟田大宇李海斌王玮刘冲刘伟姜博岩

相近标准(计划)

GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法20240911-T-469 微机电系统（MEMS）技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法