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硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

基础信息

标准号:GB/T 32815-2016发布日期:2016-08-29实施日期:2017-03-01标准类别:方法中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

北京大学大连理工大学北京青鸟元芯微系统科技有限公司中机生产力促进中心东南大学

起草人

张大成王玮黄贤何军周再发刘军山李海斌杨芳刘冲刘伟李婷姜博岩

相近标准(计划)

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