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硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

基础信息

标准号:GB/T 32814-2016发布日期:2016-08-29实施日期:2017-03-01标准类别:基础中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

西北工业大学中机生产力促进中心

起草人

苑伟政谢建兵马志波常洪龙李海斌乔大勇刘伟

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