基础信息

标准号：GB/T 32817-2016发布日期：2016-08-29实施日期：2017-03-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-4:2008。采标中文名称:半导体器件 微机电装置 第4部分:MEMS总规范。

起草单位

中机生产力促进中心中北大学大连理工大学中国电子科技集团公司第十三研究所南京理工大学

起草人

李海斌崔波裘安萍施芹刘伟石云波杨拥军刘冲

相近标准(计划)

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