基础信息

标准号：GB/T 26070-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.99 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院半导体研究所

起草人

陈涌海赵有文提刘旺王元立

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