基础信息

标准号：GB/T 25075-2010发布日期：2010-09-02实施日期：2011-04-01标准类别：产品中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院半导体研究所中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

曾一平赵有文向磊普世坤提刘旺崔利杰

相近标准(计划)

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