基础信息

标准号：GB/T 14847-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01全部代替标准：GB/T 14847-1993标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

宁波立立电子股份有限公司信息产业部专用材料质量监督检验中心

起草人

李慎重何良恩何秀坤许峰刘培东

相近标准(计划)

20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法