基础信息
标准号:GB/T 6624-1995发布日期:1995-04-18实施日期:1995-12-01废止日期:2010-06-01标准类别:方法中国标准分类号:H21归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
采标情况
本标准等效采用ITU国际标准:ASTM F523:1988。采标中文名称:。
起草单位
上海第二冶炼厂
相近标准(计划)
GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片GB/T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法SJ/T 10705-1996 半导体器件键合丝表面质量检验方法20243062-T-469 金刚石单晶抛光片20240142-T-469 蓝宝石单晶衬底抛光片