基础信息

标准号：GB/T 14847-1993发布日期：1993-12-30实施日期：1994-09-01废止日期：2011-10-01标准类别：方法中国标准分类号：H21归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F95:1989。采标中文名称:。

起草单位

机电部四十六所

相近标准(计划)

20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法