基础信息

标准号：GB/T 15909-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-05-01废止日期：2017-12-01全部代替标准：GB/T 15909-1995标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所西南化工研究设计院

起草人

余京松周鹏云

相近标准(计划)

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