基础信息

标准号：GB/T 14601-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-05-01全部代替标准：GB/T 14601-1993标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

大连光明化工研究院武汉市鼎立化工有限责任公司中国西南油气田成都天然气化工总厂西南化工研究设计院

起草人

孙福楠刘泽军周鹏云付永成谢国清

相近标准(计划)

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮