基础信息

标准号：GB/T 16945-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-05-01全部代替标准：GB/T 16945-1997标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

北京氦普北分气体工业有限公司西南化工研究设计院

起草人

赵俊秀周鹏云

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