基础信息

标准号：GB/T 15909-2017发布日期：2017-05-31实施日期：2017-12-01全部代替标准：GB/T 15909-2009标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

余京松杨智敏孙福楠牛艳东曲庆方华刘晓霞周延江傅铸红杜汉盛李长富周朋云陈鹰常侠高平洲徐昕

相近标准(计划)

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