基础信息

标准号：GB/T 21287-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01全部代替标准：GB/T 21287-2007标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

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