基础信息

标准号：GB/T 21287-2007发布日期：2007-12-14实施日期：2008-07-01废止日期：2022-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心黎明化工研究院西南化工研究设计院中核红华特种气体股份有限公司国家标准物质研究中心

起草人

王少楠余启富宋再卿刘新明

相近标准(计划)

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