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硅抛光片表面颗粒测试方法

基础信息

标准号:GB/T 19921-2005发布日期:2005-09-19实施日期:2006-04-01废止日期:2019-07-01标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040.01 归口单位:全国有色金属标准化技术委员会执行单位:全国有色金属标准化技术委员会主管部门:中国有色金属工业协会

起草单位

北京有色金属研究总院

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