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椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

基础信息

标准号:GB/T 31225-2014发布日期:2014-09-30实施日期:2015-04-15标准类别:方法中国标准分类号:J04国际标准分类号:17.040.01 归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会执行单位:全国纳米技术标准化技术委员会主管部门:中国科学院

起草单位

上海交通大学纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人

金承钰李威何丹农张冰梁齐路庆华

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