基础信息

标准号：GB/T 26249-2010发布日期：2011-01-14实施日期：2011-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国计量科学研究院上海华爱色谱分析技术有限公司西南化工研究设计院河北保定市北方特种气体有限公司

起草人

周泽义方华庄鸿涛李建浩

相近标准(计划)

GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢20231006-T-469 电子气体 砷化氢GB/T 14851-2009 电子工业用气体磷化氢GB/T 14602-2014 电子工业用气体氯化氢GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩