基础信息

标准号：GB/T 14604-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-05-01全部代替标准：GB/T 14604-1993标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国计量科学研究院西南化工研究设计院

起草人

周泽义周鹏云

相近标准(计划)

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮