基础信息

标准号：GB/T 18867-2002发布日期：2002-10-15实施日期：2003-04-01废止日期：2015-07-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。采标中文名称:。

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司

相近标准(计划)

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫20231011-T-469 电子气体 六氟化硫20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器 DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩