基础信息

标准号：GB/T 31987-2015发布日期：2015-09-11实施日期：2016-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

上海华爱色谱分析技术有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院佛山市华特气体有限公司国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)

起草人

方华裴友宏陈熔周鹏云郭秀丽林宇巍

相近标准(计划)

20243662-T-469 电子气体锗烷DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦