基础信息

标准号：GB/T 17874-1999发布日期：1999-09-16实施日期：2000-06-01废止日期：2011-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

光明化工研究设计院

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