基础信息

标准号：GB/T 14851-1993发布日期：1993-12-30实施日期：1994-10-01废止日期：2010-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G87国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。采标中文名称:。

起草单位

化工部光明化工研究所

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