基础信息

标准号：GB/T 14604-1993发布日期：1993-08-26实施日期：1994-07-01废止日期：2010-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用ITU国际标准：SEMI C3.16-88、C3.17-90。采标中文名称:。

起草单位

化工部西南化工研究院

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