基础信息

标准号：GB/T 18994-2014发布日期：2014-12-22实施日期：2015-07-01全部代替标准：GB/T 18994-2003标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

西南化工研究设计院有限公司佛山市华特气体有限公司太和气体（荆州）有限公司光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海仪盟科技有限公司

起草人

周鹏云常侠刘新明汪正宏廖恒易方华

相近标准(计划)

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